微机电系统 1、耐威科技 ：MEMS绝对龙头，收购全球排名第三的MEMS传感器企业Silex，订单已经排到14个月后，北京工厂产能即将释放。大基金今年刚增持，2022年才解禁，同时公司新材料项目符合大基金二期投资标的，有望再获大基金二期。 2、苏州固锝 ：MEMS老牌苏州工厂，各类新型物联网传感器都有涉及，MEMS制造与封装能力齐备，TMPS与加速传感器落地应用。 3、晶方科技 ：主打CMOS传感器，CIS封装，MEMS传感器也有涉及，封装产能已经满载，可惜是大基金一期可能减持标的，可能会有所影响。