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光刻胶

光刻胶,半导体材料皇冠上的明珠。

光刻胶是半导体光刻工艺的核心原材料,其产品水平直接影响芯片制造水平,按 曝光波长由大到小可分为 G/I 线胶、KrF 胶、ArF 胶和 EUV 胶,随着芯片集成 度的提高,适用于 8 寸、12 寸半导体硅片的配 KrF、ArF 是当下及未来短期内各 光刻胶公司的重点发力市场。目前国内半导体光刻胶需求 90%依赖从日本、美国进口,国内厂商徐州博康、北京科华、苏州瑞红、南大光电、上海新阳等在半导体高端光刻胶研发和量产上实现突破,光刻胶国产化是大势所趋,随着关键原材 料国产化进程提速,国内厂商有望实现份额提升。

光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。光刻胶由感光树脂(聚合剂)、增感剂(光引发剂)、溶剂与助剂构成。光引发剂是光刻胶的关键成分,对光 刻胶的感光度、分辨率起着决定性作用。感光树脂用于将光刻胶中不同材料聚合在一起,构成光刻胶的骨架, 决定光刻胶的硬度、柔韧性、附着力等基本属性。溶剂是光刻胶中最大成分,目的是使光刻胶处于液态,但溶剂本身对光刻胶的化学性质几乎没影响。助剂通常是专有化合物,主要用来改变光刻胶特定化学性质

光刻胶按应用领域分类,主要分为半导体、面板和PCB(印制电路板)用光刻胶,且难度依次降低。目前,中国本土光刻胶以PCB用光刻胶为主,平板显示、半导体用光刻胶供应量占比极低。光刻胶是集成电路制造的重要材料,光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。半导体用光刻胶按不同制程可分为EUV(极紫外光)光刻胶、ArF(193nnm)光刻胶、KrF(248nm)光刻胶及G线(500nm以上)、i线(350nm-500nm)光刻胶。

光刻工艺的成本约占整个芯片制造工艺的35%,耗时占整个芯片工艺的40%~60%,是半导体制造中的核心工艺。光刻胶材料约占IC制造材料总成本的4%,是半导体集成电路制造的核心材料。

国产光刻胶发展充满机遇:

  1. 下游LCD产业向大陆转移+集成电路成熟 制程扩产显著,为国产光刻胶企业提供发展土壤与市场空间。

  2.  近期KrF光刻胶供应受限,使供应链安全与全产业链自主可控成为重中之重,特别是在28nm及以上成熟制程应用领域;日本光刻胶产业集群的发展为国内光刻胶企业提供借鉴经验。

  3. 光刻胶具备高重要程度+成本不敏感属性,供应链存在天然高稳定性的特点,在加速进口替代的趋势下,我们看好核心材料一体化+具备先发优势的龙头公司。

面对日本产业集群分工模式和寡头垄断格局,国产光刻胶企业面临大陆面板、半导体产业链蓬勃发展的历史性机遇,与下游企业抱团加快研发进程和产品导入,完成从0到1的突破,从松散布局到系统化发展,把握下游成熟制程下光刻胶市场,实现上核心材料一体化自主可控。

线索:

  • 美国杜邦、德国AZ电子材料或将断供包括高端光刻胶在内的半导体材料

  • 上海新阳:KrF(248nm)厚膜光刻胶产品成功取得首笔订单

    上海新阳公告,公司自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品近日已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。本次产品认证的通过及订单的取得,标志着“KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化”取得了成功,为公司在光刻技术领域目标的全面完成奠定了坚实基础。

概念股:

名称
关联
核心
标的指数
上海新阳 300236
krF(248nm)厚膜光刻胶产品成功取得首笔订单,定增助力 KrF&ArF 光刻胶实现量产,持有38%股权的子公司芯刻微购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机一台 krF光刻胶
南大光电 300346
02 专项 ArF 光刻胶研发顺利结项,募投配合实现产业化,目前已完成25吨光刻胶生产线建设,目前公司 ArF 光刻胶产品在国内逻辑芯片和存储芯片制造的头部 企业都有认证。 MO 源、半导体前驱体、电子特气、ArF 光刻胶
容大感光 300576
国内龙头之一年产1000吨光刻材料(700吨光刻胶+300吨配套化学品)
晶瑞电材 300655
子公司苏州瑞红是国内最早开始研制半导体光刻胶的厂商,已实现 G/I 线量产,KrF 胶实现小额销售,并已购入 ArF 光刻机加快进行 ArF 胶研发
江化微 603078
nm光刻胶2次使用的清洗试剂都提供,都是量产
强力新材 300429
PCB光刻胶光引发剂供货世界顶级干膜厂商,KrF光刻胶用光酸、光酸中间体及聚合物(量产)
飞凯材料 300398
紫外固化和电子化学品龙头,TFT-LCD 光刻胶产能待释放
高盟新材 300200
目前国内唯一拥有并正常使用荷兰ASML光刻机的光刻胶公司,是国内光刻胶龙头
怡达股份 300721
公司的湿电子化学品可用于光刻胶基材
永太科技 002326
公司CF光刻胶产品用于平板显示领域,已成为华星光电合格供应商
雅克科技 002409
并购布局面板&IC光刻胶,募投项目加码高端市场 光刻胶、特种气体
彤程新材 603650
通过并购北京科华实现半导体光刻胶业务布局,北京 科华在国内 G 线胶和 I 线胶市场份额处于相对领先位置,KrF 胶已量产,且在Poly、AA、Metal 等关键层工艺实现重大突破,规模处于国内领先
华懋科技 603306
参股子公司徐州博康是国内半导体光刻胶领先企业,已实现 I 线胶和 KrF 胶批量生产,多款 ArF 胶(含 ArFi 胶)处于研发改进中,有望于 2022 年底实现批量销售, 公司同时具备单体、光刻胶树脂及光敏剂等原材料自主供应能力,在供应链安全方面有明显优势
久日新材 688199
已收购大晶新材100%股权,将全力推进千吨级光刻胶及配套试剂项目
广信材料 300537
公司与台湾廣至合作研究开发紫外光型正型光刻胶已有产品通过中国台湾地区客户小试成功
万润股份 002643
公司拟利用现有闲置厂房及设备生产4个系列光刻胶产品,年生产规模 65吨,计本次光刻胶产品中包含 KrF、ArF 线系列产品